慎研工業の真空チャンバー

真空チャンバー(しんくうチャンバー)は、真空装置の中心部品であり、装置内部を真空にするための容器です。
真空チャンバー単体では独自機能は持っていないため、真空ポンプを取り付けることで真空環境を作り出します。
その際、真空目的や真空装置の仕様に応じて真空ポンプを選定します。
豊富な経験と実績
慎研工業は2002年から15年以上にわたり、500種類以上の様々な形状の
真空チャンバーを作ってきました。
球形、角型、円筒型、T型等様々な形状と用途もその分野は半導体製造、
スパッタリング、蒸着、製薬、食品など多岐にわたります。
ひとつひとつが職人入魂の手作り
一基一基、熟練の職人がチームをつくり、手作りで、機械加工、TIG溶接、
研磨の一体製作することにより、難しい形状や条件に対応しています。
リークテスト
2台のヘリウムディテクターを完備して万全なリークテストを実施し出荷しています。
開発や研究用途として信頼のある製品を提供いたします。
球形真空チャンバーは燕市産業資料館にも展示されています。

慎研工業の真空チャンバー

設備一覧

機械名称 メーカー機種 台数
ヘリウムディテクターアルバック1台
ヘリウムディテクターアネルバ1台
ロータリーポンプアネルバ1台