真空チャンバー

慎研工業の真空チャンバー

真空チャンバー(しんくうチャンバー)は、真空装置の中心部品であり、装置内部を真空にするための容器です。
真空チャンバー単体では独自機能は持っていないため、真空ポンプを取り付けることで真空環境を作り出します。
その際、真空目的や真空装置の仕様に応じて真空ポンプを選定します。

豊富な経験と実績

慎研工業は2002年から15年以上にわたり、500種類以上の様々な形状の真空チャンバーを作ってきました。
球形、角型、円筒型、T型等様々な形状と用途もその分野は半導体製造、スパッタリング、蒸着、製薬、食品など多岐にわたります。

ひとつひとつが職人入魂の手作り

一基一基、熟練の職人がチームをつくり、手作りで、機械加工、TIG溶接、研磨の一体製作することにより、難しい形状や条件に対応しています。

リークテスト

2台のヘリウムディテクターを完備して万全なリークテストを実施し出荷しています。

開発や研究用途として信頼のある製品を提供いたします。

球形真空チャンバーは燕市産業資料館にも展示されています。